設備特色 |
Wafer ==> Inspection ==> Die置入焊接盤內 ==> 自動收料 |
設備外型尺寸 |
LxWxH:1860mm x 1200mm x 1930mm |
適用材料尺寸 |
Die:40~120mil |
供料Wafer平台 |
6 inch DTF 2-6-1 |
Wafer自動角度修正 |
θ: +/- 3° |
X、Y滑台自動修正精度 |
+/-30um |
影像辨識系統 |
Wafer/Tray取料-視覺系統 (500萬畫素) |
Tray放料-視覺系統 (500萬畫素) |
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背檢-視覺系統 (500萬畫素) |
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運轉速度(UPH) |
≧20K/Hr (視材料大小而定) |